清华成功研制光刻机双工件台掩模台体系α样机
来源:值机网 发表于2019-07-09 13:56:13 编辑:洪欣
摘要: 5月9日电 4月28日,国家科技严重专项 极大规划集成电路制作配备及成套工艺 (简称02专项)施行办理办公室在清华大学安排举行 光刻机双工件台体系样机

   5月9日电 4月28日,国家科技严重专项 极大规划集成电路制作配备及成套工艺 (简称02专项)施行办理办公室在清华大学安排举行 光刻机双工件台体系样机研发 项目检验会。专家组对项目使命完结状况予以高度评价,并一致同意该项目经过检验。清华大学副校长薛其坤院士到会。

   光刻机是制作大规划集成电路的中心配备。为将规划图形制作到硅片上,并在2~3平方厘米的方寸之地集成数十亿晶体管,光刻机需到达几十纳米乃至更高的图画分辨率。而光刻机两大中心部件之一的工件台,在高速运动下需到达2nm(相当于头发丝直径的三万分之一)的运动精度。由此奠定了光刻机超精细工件台技能在超精细机械制作与操控范畴的最顶级位置,被称为超精细技能皇冠上的明珠。

   项目由清华大学机械工程系朱煜教授担任负责人,以研发光刻机双工件台体系样机为方针,力求为研发65-28nm双工件台干式及浸没式光刻机供给具有自主知识产权的产等第技能。项目联合了华中科技大学、上海微电子配备有限公司和成都东西所等3家单位,下设10个课题。清华大学机械工程系、精细仪器系和资料学院别离承当了其间6个课题,机械工程系IC配备团队承当了样机集成研发等中心科研使命。

  检验会现场。记者 张 宇 摄

  副校长薛其坤致辞。记者 张 宇 摄

   副校长薛其坤在致辞中说,本项目是清华大学牵头承当的最大国家科技严重专项之一。项目发动之初,清华就成立了专项办理办公室,拟定了相关办理办法,保证专项使命的顺畅施行。在项目研发过程中,校园经过院系和谐、整合资源、筹集资金,活跃支持项目团队建造洁净实验室等研讨条件,从多方面保证了项目正常进程。薛其坤表明,现在全校师生都在仔细学习遵循习近平总书记给清华大学建校105周年的贺信精力,期望项目团队充沛体会,活跃开展满意国家战略需求的严重科研项目,加速推进科研效果转化,为深度参加国家立异驱动发展战略做出活跃奉献。

   国家科技部原副部长曹健林在总结发言中充沛肯定了清华双工件台团队的突出奉献,期望项目团队站在新的起点,为我国超精细机电配备的战略打破做出更大的奉献。专家组成员纷纷表明,光刻机作为国家战略必争的配备,研发面对极高的挑战和困难,恭喜清华研发团队对专项的严重奉献。

   检验会上,专家组仔细听取了项目完结状况汇报,以及项目样机测验验证陈述和专家组的现场测验陈述,审理了检验资料和财政资料。经过充沛评论、质询和评议,专家组对项目完结状况给予了92分的高分,一致同意项目经过使命检验和财政检验。

   检验专家组由相关范畴21名技能专家和财政专家组成。专家组以为,研讨团队历经5年完结了悉数研讨内容,打破了平面电机、微动台、超精细丈量、超精细运动操控、体系动力学剖析、先进工程资料制备及使用等若干要害技能,霸占了光刻机工件台体系规划和集成技能,经过多轮样机的迭代研发,终究研发出2套光刻机双工件台掩模台体系α样机,到达了预订的悉数技能指标,要害技能指标已到达国际同类光刻机双工件台的技能水平。环绕双工件台技能完结专利申请231项(其间国际发明专利41项),已取得授权122项;培养了一支近200人的研发团队,建立了高水平研发渠道,为后续产品研发和产业化打下了坚实的根底。

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  光刻机双工件台样机。

   据悉,该项目是02专项中心使命光刻机项目群中第一个经过正式检验的项目。项目完结使得我国成为国际少量能够研发光刻机双工件台这一超精细机械与测控技能范畴顶级体系的国家之一,将极大推进我国高端光刻机的研发与产品化,是清华大学面向国家战略需求、处理严重科技问题、饯别严重科研职责的一次标志性效果。

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  部分检验专家在现场调查。段宏宇 摄

   清华大学机械工程学院院长雒建斌院士,以及财政处相关负责人到会检验会。

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